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掩模组件及其制造方法
发明专利有效
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§ Ⅰ
卷宗概要
发明人
李德重
IPC 分类
C23C 14/04 (2006.01)C23C 14/24 (2006.01)H10K 71/16 (2023.01)
本发明公开了一种掩模组件及其制造方法。本发明的掩模组件包括:掩模支承部,界定有多个单元开口部;掩模,配置在掩模支承部上,并包括与多个单元开口部重叠的多个单元区域以及围绕多个单元区域的周边区域;以及张力部,配置在掩模支承部之下,并与周边区域重叠。张力部的一侧以及与张力部的所述一侧相反的张力部的另一侧分别从掩模支承部处固定。