掩模版表面缺陷的修复方法

本公开提供了一种掩模版表面缺陷的修复方法，包括：在掩模版的正面涂覆感光材料，形成感光层；基于掩模版的版图，从掩模版的背面照射掩模版，使光线穿过掩模版掩蔽层缺陷所在区域，对掩蔽层缺陷所在区域的感光材料进行曝光；对感光层进行显影，去除掩模版的缺陷所在区域中的感光材料；在掩模版的正面沉积掩蔽材料，掩蔽材料填充掩模版的掩蔽层缺陷所在区域；去除感光层后进行清洗，得到掩蔽层缺陷修复后的掩模版。该方法可以将掩模版表面掩蔽层缺陷修复，减少掩模版的缺陷，提高掩模版的使用寿命，提高掩模版修复效率。