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基于MFM的存储与显示一体化器件及其制作方法和应用
发明专利有效
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§ Ⅰ
卷宗概要
发明人
蒋春萍; 张慎洋; 王东升
IPC 分类
H10B 53/30 (2023.01)
本发明公开了一种基于MFM的存储与显示一体化器件及其制作方法和应用。基于MFM的存储与显示一体化器件包括依次层叠设置的半导体基片、底电极、铁电功能层以及顶电极,所述底电极、所述铁电功能层和所述顶电极配置形成金属‑铁电‑金属结构,所述底电极与顶电极配置形成法布里‑珀罗腔。本发明通过MFM结构将存储单元与显示单元一体化集成,可以降低功耗,提高响应速度,有利于系统微型化,且同时也可以满足将数据存储与颜色输出直接关联,实现“存算显一体”的元器件需求。