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监视系统及监视方法

发明专利有效
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§ Ⅰ

卷宗概要

IPC 分类

F04B 51/00 (2006.01)H05K 13/04 (2006.01)

监视作业装置所具备的多个真空泵的压力的监视系统具备:传感器,检测与多个真空泵连通的空气流路的压力;压力获取部,一边依次切换工作的真空泵一边以下的执行获取处理:在使多个真空泵中的一个真空泵工作、使其余的真空泵停止的状态下,获取传感器的检测值作为工作中的真空泵的压力;以及判定部,基于在获取处理中所取得的压力,来分别判定多个真空泵的状态。