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电波反射装置的检查装置及其检查方法
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§ Ⅰ
卷宗概要
发明人
冲田光隆; 冈真一郎; 铃木大一; 松永和己
IPC 分类
G01R 29/08 (2006.01)H01Q 3/34 (2006.01)H01Q 3/46 (2006.01)H01Q 15/14 (2006.01)H01Q 17/00 (2006.01)
电波反射装置的检查装置具有:天线,其相对于具有多个反射元件的电波反射装置收发电波,所述多个反射元件具有贴片电极和公共电极;载台,其载置电波反射装置,与天线对置地配置;以及控制部,其配置在天线与载台之间,具有供电波通过的开口部,通过开口部对电波反射装置中的电波的照射区域进行控制。