一种微机电系统及机电转化装置

本发明提供了一种微机电系统及机电转化装置，微机电系统包括第一波纹膜、第二波纹膜、间隔结构、第一电极、第二电极和压缩层，第一波纹膜和第二波纹膜沿第一方向正对设置，沿第一方向，间隔结构设置于第一波纹膜与第二波纹膜之间，沿第一方向，第一电极设置于第一波纹膜背离间隔结构的一侧，第二电极设置于第二波纹膜背离间隔结构的一侧，压缩层设置于第一电极与第一波纹膜之间，和/或，压缩层设置于第二电极与第二波纹膜之间，压缩层具有压缩应力，使得微机电系统的声学柔顺性得到改善。