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清洁和抛光流体及其使用方法
发明专利有效
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17权利要求 · 4 独立
§ Ⅰ
卷宗概要
发明人
白峰; 萨拉·L·哈根; 马修·P·瓜伊
IPC 分类
C11D 1/825 (2006.01)C11D 3/28 (2006.01)C11D 3/37 (2006.01)C11D 3/08 (2006.01)C11D 3/16 (2006.01)C11D 3/20 (2006.01)C11D 3/60 (2006.01)C09G 1/04 (2006.01)A47L 11/03 (2006.01)A47L 11/14 (2006.01)A47L 11/40 (2006.01)B24B 37/24 (2012.01)B08B 3/08 (2006.01)
本发明描述了清洁和抛光流体。具体地讲，本发明描述了包含水、聚合物和硅酸盐的清洁和抛光流体。这些清洁和抛光流体表现出良好的性能，具体地讲当在清洁过程中与研磨垫一起使用时。