一种脉冲激光沉积过程在线监测装置及方法

本发明提供一种脉冲激光沉积过程在线监测装置及方法，涉及材料制备与过程监测技术领域，包括：生长腔、设置于所述生长腔内的衬底支撑机构和靶材支撑机构、以及对靶材进行烧蚀的脉冲激光器，还包括：光谱采集单元，用于采集由所述脉冲激光器烧蚀靶材产生的等离子体羽辉所辐射的光信号；光谱分析单元，与所述光谱采集单元连接，用于接收所述光谱采集单元采集的光信号并进行分析处理，以获取所述等离子体羽辉的状态信息。本发明将极紫外光谱诊断技术与脉冲激光沉积过程深度融合的在线监测方案，以实现对薄膜生长过程的精准把控和工艺的优化。