一种ALD设备用双花篮半片理片机构

本发明是一种ALD设备用双花篮半片理片机构，其结构是伺服电机输出端驱动连接同动轴，同动轴两端分别传动连接一同步齿形带，两侧同步齿形带分别通过一同步带夹块连接安装架的两端，第一、第二理片机构同侧的同步带夹块分别通过一滑块滑动连接在同一直线导轨上，安装架两侧安装有理片陶瓷模块，理片陶瓷模块包括硅片推块，硅片推块上设有陶瓷梳齿，安装架两侧硅片推块上的陶瓷梳齿朝向相同但高度错开，第一、第二理片机构的硅片推块上的陶瓷梳齿朝向相对，位于同一侧的硅片推块上的陶瓷梳齿高度相同。本发明的优点：可兼容BC电池和TOPCON电池的ALD半片制备工序，可有效提高生产效率，且结构紧凑，生产成本低廉，运行可靠稳定。