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一种利用分子束外延法制备二碲化钯单晶薄膜的方法
发明专利有效
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§ Ⅰ
卷宗概要
发明人
张晓倩; 林文亭; 苗霖; 李子轩; 殷昊旸
IPC 分类
C30B 29/46 (2006.01)C30B 23/00 (2006.01)
本发明公开一种利用分子束外延法制备二碲化钯单晶薄膜的方法,属于纳米材料制备技术领域;包括:碳化硅衬底超声清洗后放入生长腔中,并进行退火处理,除去吸附在衬底表面的杂质;通过加减电流的方式,对退火后的碳化硅衬底进行多次flash处理,得到双层石墨烯表面,之后将衬底温度降低至生长温度;将Pd和Te置于不同的蒸发源内加热,通过控制生长时的蒸发温度,调节Pd和Te的原子束流速比,Pd和Te通过共沉积的方式在衬底上生长,同时打开Pd源和Te源的挡板;生长完成后,关闭Pd源和Te源挡板,并对衬底进行退火。该方法可以精准地调控薄膜的制备条件,从而达到薄膜材料的可控生长。