一种光罩掩模版检测装置

本发明公开了一种光罩掩模版检测装置，包括机架；夹持组件；包括对称设置的治具、以及带动所述治具相向或相背运动的夹持驱动组件；掩膜版翻转组件；带动两所述治具同步、同向的在竖直方向翻转；掩膜版旋转组件；所述夹持组件以及掩膜版翻转组件设置于所述掩膜版旋转组件的活动端，以带动两所述治具同步的在水平方向旋转；吹扫组件，其气流出口临近且朝向所述治具，通过对夹持组件以及掩膜版翻转组件结构的合理性设计，显著减小了设备体积，有效的对光刻工序的前后的光掩模版进行完整性、瑕疵等进行检测。