抗蚀剂组成物及图案形成方法

本发明涉及抗蚀剂组成物及图案形成方法。本发明的课题为提供在使用高能射线的光学光刻中，感度及极限分辨度优良的非化学增幅抗蚀剂组成物，以及使用该抗蚀剂组成物的图案形成方法。该课题的解决手段为一种抗蚀剂组成物，含有：式(1)～(4)中的任一者表示的至少1种高价碘化合物，预定的鎓盐化合物，含羧基的化合物，及溶剂。