一种恢复氧化铪基铁电擦写印记现象的方法

本发明提出了一种恢复氧化铪基铁电擦写印记现象的方法，涉及铁电薄膜领域，包括对施加电脉冲进行数据擦写后的氧化铪基铁电薄膜器件，施加双极性电脉冲，或与数据擦写电脉冲结束后极化方向相反的单极性电脉冲。通过该方法，能够有效恢复因为数据擦写导致的印记偏移场。