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电子探测器及透射电子显微镜成像系统
发明专利有效
10权利要求 · 2 独立
§ Ⅰ
卷宗概要
发明人
叶志楠; 刘小猛; 李树; 纪品全; 孙飞
IPC 分类
H01J 37/26 (2006.01)H01J 37/20 (2006.01)H01J 37/147 (2006.01)
本申请涉及一种电子探测器及透射电子显微镜成像系统。电子探测器包括转换元件、第一反射元件、第二反射元件以及光敏元件。转换元件用于接收电子束并将电子束转化为光线。第一反射元件用于接收并反射所述转换元件出射的光线。第二反射元件用于接收并反射所述第一反射元件反射的光线。光敏元件用于接收所述第二反射元件反射的光线。上述电子探测器,有利于提升电子探测器的分辨率,降低光线损耗。