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一种铁电薄膜电容器制备方法及所制备的电容器
发明专利有效
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§ Ⅰ
卷宗概要
发明人
宋建民; 李昊阳; 曹皓然; 刘可心; 秦希贤; 孟庆昭; 曾浩宇; 朱凯明; 赵丹阳; 李刚
IPC 分类
H10D 1/68 (2025.01)C23C 14/35 (2006.01)C23C 14/08 (2006.01)C23C 14/24 (2006.01)C23C 14/58 (2006.01)
本发明公开了一种铁电薄膜电容器的制备方法及所制备的电容器，先在LaAlO(001)基底上磁控溅射生长LaSrCoO薄膜底电极，然后在LaSrCoO薄膜底电极上磁控溅射生长I‑III型BiFeO：SmO铁电薄膜，得到铁电薄膜材料，然后在所述铁电薄膜材料上蒸镀LaSrCoO导电电极，得到基片，最后对基片进行退火。所制备的电容器存储性能好，存储密度大，功耗低，寿命长久。