PZT晶圆用检测设备

本申请公开了一种PZT晶圆用检测设备，涉及PZT晶圆检测的技术领域。一种PZT晶圆用检测设备，包括机架，所述机架上设有用于进行晶圆上下料的上下料装置、用于移动晶圆的移料装置、用于夹持晶圆的夹料装置和用于对晶圆进行检测的检测装置；所述检测装置包括设于机架上的调位机构，所述调位机构连接有给动机构，所述给动机构连接有检测件，所述调位机构能够带动检测件移动至晶圆的中心一侧，所述给动机构能够带动检测件以螺旋轨迹运动。本申请能够以螺旋型的检测轨迹对晶圆进行检测。