液膜形成结构、晶圆检测机构和晶圆检测设备

本申请涉及晶圆检测技术领域，提供了一种液膜形成结构、晶圆检测机构和晶圆检测设备。该液膜形成结构用于晶圆光学检测并包括座体、透光板和压盘；座体设有通光孔和围设于通光孔外周的加液通道，座体沿通光孔光轴方向的一侧限定为加液面，加液通道连通至加液面，用于向加液面一侧的待测物表面输送液体；透光板设于通光孔内，加液通道输送的液体可填充于透光板与待测物之间；压盘连接于座体，压盘设有凸出于加液面并围设于加液面外周的限位凸缘，压盘能够在待测物表面压制液体形成用于光学检测的液膜。本申请提供的液膜形成结构，能够在待测晶圆的蓝膜处形成稳定的液膜，明显提升检测精度。