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电子装置及其制造方法
发明专利有效
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§ Ⅰ
卷宗概要
发明人
曾嘉平; 李宏文
IPC 分类
H10W 70/05 (2026.01)H10W 70/62 (2026.01)H10P 72/70 (2026.01)H10P 74/00 (2026.01)
本发明提供一种电子装置及其制造方法。电子装置的制造方法包括:提供一基板,其中基板具有第一表面以及相对第一表面的第二表面;形成通孔贯穿基板,其中通孔的侧壁连接第一表面与第二表面;形成第一导电层在基板上且延伸至通孔中;形成第二导电层在第一导电层上且延伸至通孔中,其中第二导电层具有一原始厚度;进行薄化步骤,以至少移除部分第二导电层;以及进行检测步骤,以获得第一检测结果,并根据第一检测结果决定是否继续执行后续步骤。
§ Ⅵ
专利附图
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