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用于进行材料移除操作的抛光组合物和方法
发明专利有效
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§ Ⅰ
卷宗概要
发明人
周仁杰; 富琳; L·H·布伊; 管俊龙
IPC 分类
C09G 1/04 (2006.01)H10P 52/40 (2026.01)
一种抛光组合物可以包含：铝(III)盐、高锰酸盐和水，其中基于该抛光组合物的总重量计，该高锰酸盐的量可以为至少2.5重量%；基于该抛光组合物的总重量计，该铝(III)盐的量可以为至少0.2重量%；并且该组合物的pH不大于4.5。