透射型衍射光栅及其制造方法

本发明提供一种透射型衍射光栅的制造方法以及通过该制造方法得到的衍射效率高的透射型衍射光栅，即使在每个部位制作槽的宽度、槽的间隔不同的高纵横比的形状的情况下，也能够制作槽高度均匀且具有垂直的侧壁的槽形状。透射型的衍射光栅（100）具有沿一方向延伸的多个槽。多个槽互相平行地配置，槽的与其延伸方向正交的方向的截面形状为大致矩形，多个槽在每个设置的部位以不同的宽度和/或不同的间隔配置。