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图案形成用组合物
发明专利有效
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§ Ⅰ
卷宗概要
发明人
中家直树; 渡边勇树; 田中智惠
IPC 分类
G03F 7/11 (2006.01)C08F 283/00 (2006.01)C08F 290/14 (2006.01)
一种图案形成用组合物，其中，所述图案形成用组合物包含具有与芳香族环直接键合的羟基的含三嗪环的聚合物、交联剂、由下述式（S）表示的化合物、以及有机溶剂。式（S）中，例如，R表示甲基或乙基，n表示3，A表示碳原子数为1～10的亚烷基，A和A表示亚甲基，A表示氧原子，R表示氢原子或甲基。。