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离子分析装置

发明专利有效
4权利要求 · 1 独立
§ Ⅰ

卷宗概要

申请人

株式会社岛津制作所

发明人

高桥秀典; 工藤朋也

IPC 分类

H01J 49/00 (2006.01)

离子分析装置(1),具备:反应室(132),其内周面的至少一部分由绝缘物(1323)形成,源自样品成分的前体离子被导入所述反应室;以及活性粒子导入部(4),从原料气体生成活性粒子,并将该活性粒子导入反应室。一个方式还具备:多极离子导向器(1333),其由围绕作为反应室中的离子的飞行路径的中心轴的离子光轴(C)配置的多个电极(1331)构成,该多个电极是通过切除作为板状或柱状的基材的除面向离子光轴的部分以外的一部分(1334),使其表面积比该基材减少而成的。