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密封系统以及用于密封真空系统中的开口的系统

发明专利有效
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15权利要求 · 7 独立
§ Ⅰ

卷宗概要

发明人

A·E·奥维拉克; R·克朗

IPC 分类

H10P 72/00 (2026.01)

本发明提供一种密封系统。该系统包括真空室的至少一部分和印刷电路板,在该真空室中限定有开口。印刷电路板包括用于暴露于大气环境的第一部分、以及与第一部分相邻的用于暴露于真空环境的第二部分。第二部分被配置为至少部分地覆盖真空室中的开口。第一部分被配置为远离开口延伸,以用于容纳接口。