一种微光电感知多模态阵列传感器件及制备方法和系统

本申请公开了一种微光电感知多模态阵列传感器件及制备方法和系统，针对现有微针传感设备模态单一、生理信息维度有限，光电异质传感集成存在严重信号串扰，且现有设备真皮原位校准能力不足、长期监测信号漂移大、量产成本高的行业痛点，本申请在同一基底上集成光模组阵列和电模组阵列，可同步获取光学、电化学、电生理多维度生理信号，实现高信息通量的健康状态监测；通过物理隔离、屏蔽设计、分时采集三重抗串扰机制，实现多模态信号的无干扰同步采集；同时可配套真皮原位多参数四维校准体系，提升检测准确性。本申请可广泛应用于微创连续生理监测、慢性病管理、居家健康筛查等场景。