一种聚酰亚胺薄膜超大锥度微孔阵列的激光加工工艺

本发明公开了一种聚酰亚胺薄膜超大锥度微孔阵列的激光加工工艺，通过三圈螺旋线扫描加工与定点脉冲加工的顺序耦合，在聚酰亚胺薄膜上加工超大锥度微孔阵列；加工步骤包括：采用六角蜂窝式分布确定孔间距；根据入口直径需求设定三圈螺旋线扫描参数，其中第一圈与第二圈外径相同且互呈120º旋转偏移，第三圈外径小于前两圈且与第二圈呈120º旋转偏移；根据薄膜厚度确定扫描激光功率；根据出口直径需求确定定点加工能量与脉冲数；加工一次成型；本发明可实现25μm和50μm厚度聚酰亚胺薄膜入口直径大于40μm、出口直径2μm~4μm、出口孔径误差小于0.5μm的锥孔加工，制孔率大于150孔/s，孔壁光滑无残留物，适用于高端医疗网孔式雾化器片的批量生产。