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芯片、MEMS封装结构及电子设备
发明专利未知
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§ Ⅰ
卷宗概要
IPC 分类
B81B 3/00 (2006.01)B81B 7/00 (2006.01)B81B 7/02 (2006.01)H04R 19/00 (2006.01)H04R 7/02 (2006.01)H04R 7/16 (2006.01)
本申请提供了一种芯片、MEMS封装结构及电子设备。所述芯片包括:基底,所述基底开设有声孔;振膜和背板,所述振膜连接于所述基底,所述背板连接于所述振膜背离所述基底的一侧;或者,所述背板连接于所述基底,所述振膜连接于所述背板背离所述基底的一侧;所述背板开设有多个音孔,多个所述音孔与所述声孔相对设置,且至少一个所述音孔所对应的所述振膜处开设有通孔;介电材料,所述介电材料覆盖所述通孔。本申请能够提升MEMS封装结构的灵敏度和信噪比。