一种光刻胶树脂、制备方法及其应用

本发明公开了一种光刻胶树脂、制备方法及光刻胶，所述光刻胶树脂具有式(I)所示的结构通式，其可通过丙烯酸酯，甲基丙烯酸酯类化合物通过Pd(II)催化剂聚合得到。本发明制备的光刻胶树脂具有分子量可控、分子量分布较窄的特点；含有该聚合物树脂的光刻胶可以明显改善刻蚀边界不清晰，线宽粗糙度较大的问题，满足更高的光刻要求。