一种具有多级迷宫密封结构的PVD工艺套件及其制备方法

本发明公开了一种具有多级迷宫密封结构的PVD工艺套件及其制备方法，包括遮蔽环和沉积环，所述遮蔽环与所述沉积环沿径向相互咬合搭接，还包括所述遮蔽环的下表面与所述沉积环的上表面在咬合区域沿径向由外向内依次形成有至少两级环形台阶，通过在遮蔽环与沉积环的咬合区域设置至少两级环形台阶，相邻台阶之间以30°~75°倾斜过渡面衔接，形成非直通视线的Z字形迷宫气流路径，咬合缝隙控制在0.15~0.35毫米，Z字形路径等效延长气流通道长度由原5毫米延长至约15毫米，60°倾斜过渡面完全阻断直通视线，使氩离子及溅射粒子无法直射下方密封圈区域，密封圈上方副产物沉积由10.2微米/1000射频小时降至1.8微米/1000射频小时，延缓密封件老化。