一种微源阵列式蒸发装置及其蒸镀方法

本申请公开一种微源阵列式蒸发装置及其蒸镀方法。所述装置包括微源阵列板和温控系统，微源阵列板设有若干呈阵列分布的微蒸发单元，各微蒸发单元包括微型蒸发器和加热元件。温控系统分别调节各微蒸发单元或者各蒸发分区的加热功率。微源阵列板与待镀基板平行设置且间距不大于200mm。蒸镀时，若干个微蒸发单元产生的蒸汽在待镀基板表面叠加沉积。该方案能够减少蒸汽侧向发散，提高材料利用率、蒸发速率及薄膜沉积均匀性。