多根连拉单晶硅生长控制方法及系统

本发明公开了一种多根连拉单晶硅生长控制方法及系统，属于单晶硅棒拉制技术领域。该方法根据熔体杂质积累特性动态分配每一根单晶棒的等径长度，并依据分配长度确定二次补投料量，使后一次补投料后的熔体质量始终小于前一次。具体包括：设定计划连拉总根数和标准长度，根据热场结构确定理论最大总拉制长度；对每根晶棒长度进行“前长后短”的非均匀性分配；根据分配长度确定补投料量；控制补投料后熔体质量不超过上一根晶棒补投料后的熔体质量，使后一根晶棒初始液面高度始终不高于前一根。本发明通过长度非均匀分配与液面高度递降控制的协同作用，有效减少坩埚壁面杂质冲刷引入，降低连续拉制过程中的NG率，提升单晶硅棒拉制收率与整棒率。