III族氮化物结晶制造装置

本发明提供一种能够监测使冷却介质循环的冷却介质循环部的腐蚀状态的III族氮化物结晶制造装置。其是使III族氮化物结晶在基板上结晶生长而制造III族氮化物结晶的III族氮化物结晶制造装置，具备：沿铅垂方向延伸的纵型的反应容器；以及冷却部，其设置在反应容器的外周部，从设置在铅垂下方的冷却介质供给口向冷却介质循环部供给冷却介质，使冷却介质从铅垂下方向铅垂上方流动至冷却介质循环部内而冷却反应容器，经由设置在铅垂上方的冷却介质排出口从冷却介质循环部排出冷却介质；冷却部具有：设置在比冷却介质供给口靠铅垂下方的位置，使冷却介质滞留的冷却介质滞留部；以及排出滞留于冷却介质滞留部的冷却介质的排水排出口。