一种半导体用带旋转水套的磁流体密封装置

本发明公开了一种半导体用带旋转水套的磁流体密封装置，旨在解决磁流体密封装置容易出现漏水现象，从而对其它元器件特别是电器件带来影响的不足。该发明包括主轴和外壳，外壳紧固连接水套，外壳上设置安装孔，主轴与安装孔转动连接，主轴和安装孔之间安装磁流体密封组件；主轴与水套套装连接，水套和主轴之间轴向间隔安装多个密封环，水套内壁上设置排液环腔，水套上设置和排液环腔连通的排液孔。水套与主轴之间的密封性好，不易出现漏水现象，渗出的冷却液能够回流到回水通道中，高速高压情况下万一出现渗漏水也不会漏到流道外而影响外部元件的安全，保证了整个设备的安全运行。