一种轮廓测量方法、装置、计算机设备及产品

本申请公开了一种轮廓测量方法、装置、计算机设备及产品，轮廓测量方法包括获取样品在不同姿态下的轮廓数据；其中，不同姿态包括第一姿态和第二姿态，在第一姿态下，样品表面存在超出轮廓仪的测量范围上限的第一目标区域，在第二姿态下，第一目标区域处于轮廓仪的测量范围内；对不同姿态下的轮廓数据进行拼接，得到样品的最终轮廓数据。本申请旨在提高样品轮廓测量的准确性。