一种半导体吸盘吸附力均匀性检测装置及检测方法

本发明公开了一种半导体吸盘吸附力均匀性检测装置及检测方法，包括检测平台，在所述的检测平台上设置有多组可调节夹持限位机构，多组可调节夹持限位机构围合形成可变夹持限位空间；在在检测平台上方设有旋转扫描反吸检测装置，所述的旋转扫描反吸检测装置包括反吸检测盘和扫描装置。该检测装置和检测方法，能够完整评估吸盘吸附力的均匀性，确保吸盘的质量，实现了吸盘表面全区域有效检测，确保无检测盲区，能够准确反映吸盘的实际情况，检测精度高，检测流程简单，自动化操作，不需要多次调整检测设备位置，检测效率高。