一种CVD-SiC涂层耐金属污染腐蚀的检测评估方法

本发明提供一种CVD‑SiC涂层耐金属污染腐蚀的检测评估方法，包括以下步骤：在CVD‑SiC涂层试样的表面形成金属污染膜，然后置于高温下进行腐蚀；对腐蚀后的所述CVD‑SiC涂层试样进行失效检测，并根据失效检测结果计算金属腐蚀失效指数。本发明通过标准污染源、标准气氛、标准温度时间制度和标准失效判据，使原本分散在客户端不同设备、不同炉次和不同工况中的失效问题转化为可标准化、可重复、可对比的定向加速测试，可显著缩短CVD‑SiC涂层开发、供应商筛选和客户端导入验证周期。本发明还提供金属腐蚀失效指数MCFI，将多维失效结果进行量化评价，使不同涂层批次、不同沉积工艺、不同后处理工艺及不同供应商之间具备可量化比较基础。