集成式太赫兹光路对准避让结构及太赫兹近场成像方法

本发明属于太赫兹近场显微成像系统中的光学结构设计技术领域，具体涉及集成式太赫兹光路对准避让结构及太赫兹近场成像方法。包括：两个保留光学曲面的离轴抛物面镜，分别为准直镜和聚焦镜，二者的光学曲面相对布置；每个离轴抛物面镜的顶面和底面为相互平行的水平切削平面，用于防干涉；每个离轴抛物面镜至少一个竖直面为切削平面，用于激光调平；准直镜上设有两个贯通孔，用于指引两束平行的指引激光；准直镜和聚焦镜上沿同一直线方向各设有一个同轴对准孔，用于共线安装。本发明实现了太赫兹光路在扫描探针显微镜中的紧凑安装、快速对准和高精度同轴，显著提升系统的可操作性和成像稳定性。