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一种一维光子晶体的晶格常数和周期检测方法
发明专利未知
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§ Ⅰ
卷宗概要
IPC 分类
G01N 21/84 (2006.01)
一种一维光子晶体的晶格常数和周期检测方法,属于光子晶体结构参数测量技术领域,方法包括:光斑位置获取模块以线偏光入射至一维光子晶体,获取一维光子晶体在连续波长λ范围内的光斑位置信息;位移差曲线绘制模块根据所述光斑位置信息,绘制一维光子晶体的实测IF位移差曲线;反射光谱测量模块测量得到一维光子晶体在连续波长TM、TE波的反射光谱数据,绘制得到实测反射率曲线;反演计算模块将所述实测IF位移差曲线和实测反射率曲线,代入一维光子晶体晶格常数和周期数的评价函数中,进行反演计算,最终输出评价函数最小时一维光子晶体的参数向量。效果:能够实现任何基底表面的一维光子晶体晶格常数和周期数的精准、无损检测。