一种光电子离子符合测量装置

本发明公开了一种光电子离子符合测量装置，涉及X射线光电子、离子探测技术领域，包括电子能量分析器、激发光路组件、样品承载组件、场调控组件以及符合探测组件。激发光路组件包括与分析腔体连通的光束注入通道和光束排出通道；样品承载组件设于分析腔体内，包括样品台以及设于样品台的多自由度样品调节机构；场调控组件包括设于分析腔体内的电场加压件以及设于分析腔体外侧的磁场发生件；符合探测组件安装于电子能量分析器，包括电子探测器和离子探测器。该装置能够对待测样品相对于样品作用区进行位置和姿态调节，提高符合测量的可靠性。