微纳尺度下电子器件放电过程的瞬态发射光谱检测装置

本发明公开了一种微纳尺度下电子器件放电过程的瞬态发射光谱检测装置，涉及瞬态光谱光学检测技术领域。该装置包括：滤光片对电子器件放电过程产生的发射光信号进行过滤，耦合透镜将滤光片过滤的发射光信号耦合至传感光纤；信号发生器产生啁啾电信号，并将啁啾电信号施加至压电陶瓷；压电陶瓷将接收到的啁啾电信号转换为频率随时间变化的啁啾超声信号，并通过锥形玻璃将啁啾超声信号耦合至传感光纤中；传感光纤在啁啾超声信号的作用下，将耦合透镜耦合至传感光纤的发射光信号沿传感光纤传输；信号采集处理系统根据传感光纤上输出的光信号，确定电子器件放电过程的发射光信号的光谱分量。该装置能够实现对微纳尺度下放电过程瞬态发射光谱的探测。