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芯片不良分层方法及装置

发明专利未知
10权利要求 · 2 独立
§ Ⅰ

卷宗概要

发明人

丁鑫; 李安平; 杨泽坤; 陈杰夫; 李晓白

申请日

Jul 14, 2026

公开日

Oct 16, 2026

IPC 分类

G01R 31/28 (2006.01)G06F 18/2433 (2023.01)G06F 18/15 (2023.01)G06F 18/25 (2023.01)G06F 18/21 (2023.01)G06F 18/2321 (2023.01)G06F 123/02 (2023.01)

本申请提供了一种芯片不良分层方法及装置,其中,该方法首先获取芯片的晶圆中测测试数据、成品终测测试数据、老化测试数据及设备工况数据;然后进行数据格式统一处理,并按照芯片制造与测试的工艺时序进行对齐,得到以芯片的唯一标识为索引的全流程数据记录;最后在芯片被判定为不良的情况下,根据全流程数据记录,分析不良参数在晶圆中测阶段、成品终测阶段及老化阶段的出现时机、不良参数在芯片物理空间上的分布特征、以及不良参数与设备工况数据之间的关联关系,以确定芯片的不良类型,其中,不良类型包括晶圆工艺不良、封装制程不良、测试工装假性不良及老化隐性不良。实现对芯片不良类型的准确分层。

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