一种硅光芯片及其制造方法

本发明的实施例公开了一种硅光芯片及其制造方法，其中硅光芯片的制造方法，包括：提供第一基底，在第一基底上制作反射结构；提供第二基底，在第二基底上制作光学器件结构层和光口槽，光学器件结构层中设有至少一个光波导，光口槽位于光学器件结构层中，并形成于光波导的端部；通过晶圆键合的方式将第一基底和光学器件结构层连接在一起，并将反射结构嵌设于光口槽中，其中，反射结构与光波导相对设置，反射结构将光波导发出的光导出光口槽，或将从光口槽外传输至光口槽内的光导至光波导内。本申请实现了反射结构和光口槽的高精度对准，显著提高了反射结构与光波导的对准精度，同时确保了不同光口槽的耦合一致性。