一种基于自适应幂次的磁透镜全像差计算方法及系统

本发明涉及电子光学仿真技术领域，具体公开了一种基于自适应幂次的磁透镜全像差计算方法及系统，包括如下步骤：获取轴向磁场分布、加速电压、相对论修正电压及成像位置，基于加速电压和相对论修正电压分别求解近轴光线方程，得到近轴光线参数及Busch旋转角，基于相对论修正电压的近轴光线参数计算Seidel像差积分并归一化，根据成像位置处磁场强度与峰值磁场强度比值确定自适应幂次，根据透镜强度参数混合Seidel像差积分结果与Glaser像差参考值，输出全像差结果。本发明通过双求解、归一化和自适应混合，使弱透镜、过渡区和强透镜条件下的像差依据连续，并区分兼容值与物理值。