离轴照明的对准装置、纳米压印装置及压印对准方法

本发明公开一种离轴照明的对准装置、纳米压印装置及压印对准方法，涉及纳米压印技术领域。所述对准装置包括：照明单元分别提供多束照明光，照明光以一定的入射角度分别在x方向和y方向上照射对准物；成像单元垂直设于对准物的上方，获取表征对准物和模板之间对准程度的莫尔条纹图像，其中，照明光入射到对准物上的标记光栅和模板上的模板光栅分别产生第一衍射光和第二衍射光，莫尔条纹图像基于所述第一衍射光和第二衍射光而产生莫尔条纹图像。本发明采用离轴照明系统，提高照明利用率，简化装置，同时减少需要传输的数据量，提高生产效率。