一种晶圆边缘曝光装置

本申请提供一种晶圆边缘曝光装置，包括：晶圆旋转系统，用于带动晶圆旋转并发送晶圆的旋转角度，所述晶圆旋转系统包括用于承托所述晶圆的吸盘；曝光系统，包括曝光镜头，与光源连接，用于对所述晶圆边缘进行曝光；以及直线模组，与所述曝光镜头连接，被配置为带动所述曝光镜头沿第一方向往复运动；晶圆偏心检测系统，包括传感器，所述传感器用于检测所述晶圆的中心点，获取所述晶圆的偏移量并发送所述偏移量；控制器，被配置为根据所述旋转角度和所述偏移量控制所述直线模组带动所述曝光镜头移动至工作位置。本申请提供的晶圆边缘曝光装置能够对晶圆边缘曝光过程进行纠偏同时不影响晶圆承托设备的使用安全。