加速器相干光源装置及其控制方法、以及光刻系统

本公开提供一种输出脉冲的宽度可调的加速器相干光源装置及其控制方法、以及光刻系统。利用调制激光光学平台(100)提供波前旋转激光，在调制装置(200)中对电子束进行调制形成微聚束结构，使得辐射波荡器(300)输出的相干辐射脉冲的宽度可调。通过调节调制激光光学平台(100)中的光栅对(110、120)之间的距离，可以控制调制激光的波前旋转程度，使得波前旋转程度随着光栅对间距的增大而增大，利用波前旋转激光调制后的电子束中微聚束的宽度随之减小，进而使得辐射波荡器(300)输出的脉冲宽度逐渐缩短。