大尺寸SPS设备多电极分区温度场均匀性控制系统及方法

本发明公开了一种大尺寸SPS设备多电极分区温度场均匀性控制系统，包括：多电极分区布局模块，用于在烧结腔体内形成至少3个独立控温区，其中，各电极区由独立电源供电；多点温度感知模块，用于实时采集各控温区的温度数据；智能协同控制模块，用于接收所述多点温度感知模块采集的温度数据，采用MPC+强化学习融合算法建立多输入多输出温度场动态模型，实时优化各电极区功率分配以最小化全场温度方差，并引入热力耦合约束作为边界条件。还公开了一种大尺寸SPS设备多电极分区温度场均匀性控制方法。本发明解决了大尺寸SPS设备在高温高压烧结过程中温度场分布不均匀、中心与边缘温差大、控制响应滞后等问题。