一种基于数据分析的真空泵抽速优化方法

本发明属于设备状态监控技术领域，具体涉及一种基于数据分析的真空泵抽速优化方法，包括：获取真空泵抽气过程中的运行数据，所述运行数据包括腔体压力和真空泵转速；将抽气过程按对数压力尺度划分为多个压力带并确定通过时间；利用腔体有效容积和对数压力下降量将通过时间转换为表观抽气能力，并结合真空泵转速计算转速归一化抽气能力；基于相邻压力带的转速归一化抽气能力和平均压力构建负载拖拽形态系数；结合转速归一化抽气能力和负载拖拽形态系数判断异常来源；根据异常来源生成对应的抽速优化策略或维护指令。本发明能够提高真空泵抽速优化的准确性与设备运行的可靠性。