晶圆缺陷图像的合成方法及模型训练方法、缺陷检测方法

本申请涉及晶圆缺陷图像的合成方法及模型训练方法、缺陷检测方法，该合成方法包括：分别获取缺陷样本图像和正常样本图像的二维注意力权重，基于缺陷样本图像和正常样本图像的二维注意力权重，融合缺陷样本图像与正常样本图像得到晶圆缺陷图像，将缺陷样本图像的标签作为晶圆缺陷图像的标签；缺陷样本图像的二维注意力权重表征缺陷样本图像中缺陷像素与非缺陷像素的关注度差异，正常样本图像的二维注意力权重用于正常样本图像中中央区域与外侧区域内正常像素的关注度差异。合成的晶圆缺陷图像保留了缺陷信息，且缺陷样本图像的标签作为晶圆缺陷图像的标签，使图像信息和标签一致，不仅实现数据扩增，且避免了在模型的训练中引入噪声。