GaN基电注入光子晶体面发射激光器

本申请提供了一种GaN基电注入光子晶体面发射激光器，涉及半导体光电子器件技术领域，包括：由下至上依次层叠的GaN衬底、n型包层、n侧波导层、多量子阱有源区、p侧过渡层、埋置有光子晶体层的第一GaN基层、第二GaN基层、p型光限制层和p型接触层；GaN衬底远离n型包层的一侧经减薄形成n侧出光面，n侧出光面上设有环形电极，环形电极环绕光子晶体层的投影区域形成出光窗口；出光窗口内集成有多级螺旋相位板，多级螺旋相位板用于对自出光窗口射出的光束进行波前调制。使得相位调制结构的制备无需刻蚀激光器主谐振区，从而在规避主谐振结构损伤的同时，实现了对出射光束的波前调制。