一种半导体激光器线宽压窄装置

本发明公开一种半导体激光器线宽压窄装置，属于光电子器件技术领域。装置包括倾斜设置的半导体增益芯片、模场匹配透镜、硅光微环谐振器、热电制冷器、监测部件、准直透镜、光隔离器及信号输出光窗；半导体增益芯片集成光栅、增益、相位调节及反射结构，内部形成第一自由光谱范围的梳状反射谱；硅光微环谐振器作为外腔反馈与选模元件，形成第二自由光谱范围的梳状反馈谱，利用游标效应实现单纵模筛选与线宽压窄；模场匹配透镜降低斜端面光束耦合损耗，热电制冷器实现波长精准锁定与温度稳定，光隔离器抑制外部回波干扰。本发明集成度高、线宽窄、稳定性强、波长电控可调谐，可满足相干光通信、激光雷达与精密光学测量对高纯度窄线宽光源的需求。